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技术规范蒸空环境室计 PSG500 和 PSG502-S 代替芯片封装在坚忍不拔不拔坚固耐穿小型的管壳内的的进步老员工的Pirani技艺。温度表补充能保证了快速与没变的蒸空环境室侧量效果,并消弭了对霸气压表强表示慢的考题. 坚忍不拔不拔坚固耐穿的不绣钢感测器机关单位更共用于半导体芯片标准体系, 和原则作用如前级蒸空环境室水管中.
特色:
■ 占三维空间小
■ 任意东南方向仪器
■ 不锈钢装饰管测量单位名称的塑料密封垫馈入件
■ zui佳化的温差补充
■ 非常易一体化的多数数据信号显示
■ 至10巴相对性各种压力的高过压可以,用罗纹毗连件
■ 烘烤型在蝶阀法兰处高达到250 °C
■ 非常容易改换的传感器组织
利用:
■ 有节制高真空泵体电离真空泵体计
■ 前级蒸空压强监测系统
■ 蒸空组织体制中的清静电路原理
■ 在中机械泵体环境和粗机械泵体环境投资额内的常见的机械泵体环境勘界与规范
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