的氦质谱检漏仪关头部件均为入口，机能不变靠得住。不只活络度高，并且操纵便利，能够或许或许双灯丝主动切换、主动调零、主动校准和主动量程切换。氦质谱检漏仪能够或许对具备内腔的微电子或半导体器件封装的气密性停止细检漏。 此检测体例利用的示踪气体挑选了氦气，氦气具备品质数小、分量轻并且有渗入才能强的长处，到达了细检漏的目标。
　　氦质谱检漏仪特色：
　　1.检测时候和周期很是短，能够或许到达5s之内；
　　2.检测的介质比拟经常利用，仅需紧缩氛围便可；
　　3.不会遭到客观身分判定的影响；
　　4.检测的数据精准；
　　5.主动天生数据保管，可追溯数据来历。
　　氦质谱检漏仪停顿的集合表现在以下几个方面：
　　（1）便携式：zui近列国推出的小型便携式检漏仪不只活络度高，并且便于照顾，给田野功课和地面功课供给了比拟大的便利。
　　（2）高压强下检漏：检漏口压强可高达数百帕摆布，对检测大体系和有大漏的工件很无益。
　　（3）主动化水平高：主动校准氦峰，主动调理零点，量程主动转换，主动数据处置，可外接打印机。零件由微机节制，菜单挑选功效，一个按钮便可实现一次的全检漏进程。
　　（4）全无油的干式检漏：有些国度出产的检漏仪，可接纳干式泵，到达无油蒸气的结果，为无油体系及芯片等半导体器件的检漏，供给了有益前提。
　　（5）检漏规模宽：当今出产的四极检漏仪，品质规模很宽，不只可检测氦气，并且能检测别的气体。
　　氦质谱检漏仪能为差别的利用供给普遍的测试体例，含有涡轮份子泵、内置机器泵、外置机器泵、光谱、仪管、阀组、检漏仪电子元件和操纵页面，和可选功效组件。氦质谱检漏仪在很多范畴里获得普遍的利用,比方,在航空航天范畴里宇宙飞船、航天飞机、火箭、卫星、飞机等这些都要用到真空检漏手艺。