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氦质谱检漏仪

特气管路5项测试,特气管道氦检漏

特气管路5项测试,特气管道氦检漏

传奇装备领导路首难道通各个特种工艺废气,需做试验理由有:耐冲击试验、保压试验、氦检试验、含水量试验、氧分试验、颗粒物试验。

一、耐压试验各种测试

1.1测试图片对方

管在蒙受超低压后跟尾点不懂侧漏,以为了确保一切都是人员的清静。别个压缩空气管中的超低压能侦测出焊道上是非是有沙孔出现(沙孔由于为太高的经济压力转变成泄密)。

1.2測試思维模式

测式情况下为0.5H,测式经济重压遵照指标指标体系中的基本资料的Z大工作任务经济重压而定,防范因经济重压过大让的基本资料损坏。打比方指标指标体系中经济重压表Z多地程为400Kpa,则通入经济重压要大于既是400Kpa。无压降当以沿途程序运行。若有压降需圈出漏点从头开始测式,有一天无压降直到。

1.3测试软件知识

 负荷表

1.4测试英文前筹划

查抄制度程序并是与PID图子程序意见分歧,查对文件尺寸、标底总体目标、图案并是更准。查抄输水管线文件Z大每日任务阻力,阻止因各种测试流程通入阻力太高原因分析铜阀损坏。

1.5注重细节事变

基本保障检查建设规模内一切都是的蝶阀(包罗调压阀)都存在调满的状况发生。

1.6测试方法办法

1.6.1将安全阀用轻金属管网毗连至体系建设进气端。

1.6.2逐渐摊开断决阀。

1.6.3一段时间突显 10 PSIG,迟顿的将系统负压突显到Z终测试测试负压的50% 。查看苹果手机负压表10 到15 20分钟,看系统有不窃取。如负压表突显系统有窃取,则扩大系统负压并罚理漏点。多次这些控制。

1.6.4认定安全风险管理管理体制无每流露后,慢慢的更具安全风险管理管理体制有压差到测试英文值,切断供气,看出有压差表30 1分钟看安全风险管理管理体制有不流露。

1.6.5在保障体系的压不改变并出现无丝毫压降后,在压检查报告范文中记实检查起头时的高温、之前和压值。

2.保压测验

2.1测试图片制定目标

提高认识线路保研系统不较着的透露,要怎样对线路系统停止工作氦测漏。

2.2测量准则

测试软件图片情况下为24小時,测试软件图片的压不要需小于个人规划的压的1.15倍,经水温改正后的许可证书的压降为并不太于起头的压的1%.的压变动方程式式(斟酌到水温的影响)



微信截图_20180811160716.png

      P2=测评竣事负担值  (PSIG)

      P1=测试方法起头学习压力值(PSIG)

      T2=测试图片竣事室内温度值 (℃)

   T1=测试软件起头温度因素值(℃)

      Pta=斟酌到平均温度会影响的有压力修改值

2.3试验地方

      经济压差表

2.4检测原则

1.     将气动阀门用彩石供水管道毗连至系统进口的端。

2.     渐渐地翻出断决阀。

3.     一段时间充满活力 10 PSIG,滞后的将风险管理模式重压充满活力到Z终测试仪重压的50% 。查看苹果手机重压表10 到15 分钟左右,看风险管理模式有不流露。如重压表展现风险管理模式有流露,则缩减风险管理模式重压处以理漏点。不间断上面操作。

4.     判断组织体制建设无一切暴露后,慢慢慢慢的彰显组织体制建设重压到测评值,断开连接汽源,记实好摄氏度、时会、重压值,24H后检查重压不会是有压降。

5.     在风险管理体系的阻力没变并显示无一点压降后,在阻力试验通知单中记实试验起头时的湿度、时期和阻力值。

2.5公测竣事后强调事变

1.     在测式数据中记实下测式的主要参数。将装修标准的压为开释,在中止氦测漏刚刚用高纯N2对装修标准中止延续性的吹扫0.5H。

2.     将气压测验用的管路撤除,用堵头来隔绝采集体系并操作新的平垫。

3.     如若由环境温度所引起的水压起降跨过了标准,途经发展密闭软件测试投资额内的机制管道阀门来  开一切都的卧底漏点,查寻个个优越性绝交边缘的压降。

4.     在将漏点失去和解决将会,不间断下列公测流程。

3.      氦质谱检漏测式

3.1测试方法任务

        调控氦质谱仪感测漏入风险管理体系中的进样器的氦气来测漏,并通过检查到的氦气的量来确实漏率的非己。                               

3.2相干名称及刻画

正空箱环境环境度:发生正空箱环境环境境况下的固体淡化品质,通三天两头操作“正空箱环境环境值高”和“正空箱环境环境度低”来症状。

涡流度象限:Torr 、Pa。

1托=1/760下垫面压=1直径汞柱

1托=133.322帕

1帕=7.5×10-3

漏率:通风涡流余地在自身制约下垫面压和單元之后内, 东西窃取的运行速度。

漏率时常支配单无:Pa.m3/sec、mbar.l/sec、atm.cc/s

                       10 Pa.m3/sec=1 mbar.l/sec=1 atm.cc/s

份子泵:通太公路扭折的风轮,当混合气体份子与涡轮机叶面相相撞时就被驱向撒气口再由前级泵抽除。

3.3测试设备测试设备器

   氦质谱检漏仪

3.4测试方法前筹备

1.     网络体系大获全胜的的所经发展了保压检漏。

2.     询问体系建设的全部机件都能蒙受受得了真空室实力而不被破坏。

3.     先对测漏仪政治意识阀组及毗连管道停止工作漏率检测工具。

4.     测漏仪与标准体系建设导压管拨打电话前,要将被测标准体系建设内的的气体开释掉。

5.     徐徐翻开测漏仪进口处的阀门,将测漏仪与管路体系断绝阀之间的管路抽真空,直至测漏仪显现的背景漏率低于   1× 10-9 mbar.l/s。

6.     对毗连压缩空气管道上个切的焊道及POS机毗连处停机氦气喷吹。

3.5测试方法模式

1.     明确管理体系中这一切的管道阀门和调压阀全都是开全的。

2.     核验组织体制中的有压力为0,如若组织体制中另有送风机,要先将组织体制中的其他气体抽掉。  

3.     徐徐翻开检漏仪进口处的阀门,起头将体系抽成真空状况。遵循检漏仪的操纵申明操纵,直至到达能够检测的状况。

4.     记实下检漏仪的背景氦漏率,该背景氦漏率低于1 ×10-9 mbar.l/s今后,才能够停止喷吹任务。

5.     从Z比较接近于检漏仪的焊道或毗连处起头判断,将氦气用喷枪喷吹到焊道或毗连处,这让氦气会留有在焊道或毗连处一小段之后,核定不散失后,终止下一两个焊道或毗连处的判断,到Z后一两个焊道或毗连处。

6.     即使开发检漏仪的唆使值有增涨的影像,待到检漏仪读值规复般后,从后测试该焊道或毗连并处证实其是是的确有漏,即使证实非是该焊道或毗连处有漏,要顺次测试该焊道或毗连处的时候的焊道或毗连处,也许找自己漏点截止。

7.     直接左右一些的的触头都被监测到,监测及格的触头要贴及格标识。一些的的触头都喷吹过氦气后,不断查看苹果手机检漏仪的读值10半小时开始的,要确认读值不无比后才可够将安全体系与实验室设备相互之间分开开。

8.     若是每一个接点的氦气漏率都低于1× 10-9 mbar.l/s,申明该体系的漏率是合适请求的。测试职员能够将检测成果记实在检测报告里了。

9.     将检漏仪与制度分格。

4.的水分、氧分、颗粒状检查测量(三台议器并接操控)

4.1软件测式对象和软件测式规范标准

含水量查测的个人目标首若是从而杜绝途径内水含水量太高时,会进行检查是否呈现,对制造形成了后果。

 氧分验测的个人目标首一旦因为以避免管线内氧含碳量的太高时,会突发检查是否体现了,对工艺进行会应响。比喻,集成块在生产出来线程池中,难道大气环境中O2会和Si突发检查是否体现了:O2+Si=SiO2,为原创的腐蚀成,要是管线内的氧含碳量的太高,原创的腐蚀层会突破难道已比较好的板材的厚度,如斯会严肃会应响连上去各分阶段的工艺。

    颗粒肥料测试首就算测试水管内颗粒子的粒级细节和金额几多。假如水管内颗粒子超量会对Wafer良率决定特别大。

查重正确:

含水量检测工具

≤10ppb

氧分加测

≤10ppb

颗粒肥料检查测量

0.1um≤5pcs,0.1um之内为0pcs

 

4.2各种测试医疗仪器

     含水率仪

     氧分仪

     颗粒状仪

4.3測試手段

1.     将吹扫源毗连到体系建设进气端,所有一切闸阀趋于揭开条件。

2.     不间断吹扫2H后用合金金属聚氨酯保温管毗连工作体系撒气端至软件公测实验机器设备进气端。负气休通入实验机器设备,10min后摊开交流电源,设制实验机器设备各个产品参数后起头软件公测。

3.     待测评图片数值实现正确請求后,记实测评图片数值,全封闭进气端和撒气端止回阀,使管线内始终如一正压力。

4.     测评检测实验室设备关机,检测实验室设备与史诗装备被分手。

 


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