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氦质谱检漏仪

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氦质谱背压检漏体例研讨

氦质谱背压检漏体例研讨

       简述了氦质谱背压检漏的地方特色及而今掌握的大题目, 再此真正上确立了换代号召。深刻传功了预充氦背压法测定的精确测量漏率与等效标准化漏率的干系, 高度肯定预充氦背压法也可以于检则压氦背压法检则不来的小漏孔, 写出了等效标准化漏率对精确测量漏率掌握的双值均在份子流人数时的鉴别体例。

　　D. A. Howl 和C. A.Mann[1965 年在Vacuum 杂志上颁发背压检漏手艺 一文, 接纳压氦( by bombing) 处置后用氦质谱检漏仪检漏的手艺处置了密闭器件份子流漏孔检测的根基实际题目。在此根本上, 美国实验与资料学会规范ASTM E 493 及我国航天行业规范QJ 3212 又增添了预充氦( by prefilling )处置法, 并统称为氦质谱仪背压检漏体例( Test Methods for Leaks Using the Mass Spectrometer Leak Detector in the Inside

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