氦质谱检漏仪校准的基准是规范漏孔，规范漏孔是在必然前提下向真空体系外部供给已知气体流量的元件。普通要明白这个气流量（即漏率）的气体品种、温度、压力等前提。若是不出格指明，则指温度为296±3K、进口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的枯燥氛围（其露点温度低于248K）的漏率。

        1.波璃孔状管型实验室管理标准漏孔（图里a）是用要素拉细的波璃孔状管弄成的，漏率有10-8~10-7Pam3/s。 

       2.塑料压扁型标准化漏孔（图示b）凡事是用无氧铜或可伐管压抑感而成，漏率是10-8~10-6Pam3/s。 

       3.波璃铂丝型标准漏孔（该图c）是支配波璃与铂丝的不合婚封接制作成的。当铂丝网套直径为0.1~0.5mm；封接段长度为5~10mm时，漏率约为10-7Pam3/s。当温表的转变时，其漏率变更登记。若296K的漏比率有qL、296，则温表T时的漏比率有式（8）。式中f（T）的弧线如图甲已知11已知。 

       4.薄膜渗氦型规范漏孔（图中d）是操纵石英薄膜球泡的渗氦速度制成的，其漏率普通为10-5~10-9Pam3/s。因为温度对漏率的影响很大，利用时应当注重批改。若是温度T1时漏孔漏率为qL、T1，利用温度T2时的漏率应为式（9）。式中，E-氦在石英中的渗入激活能；R-摩尔气体常数。