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氦质谱检漏仪

规范漏孔

规范漏孔

        氦质谱检漏仪校准的基准是规范漏孔,规范漏孔是在必然前提下向真空体系外部供给已知气体流量的元件。普通要明白这个气流量(即漏率)的气体品种、温度、压力等前提。若是不出格指明,则指温度为296±3K、进口压力为1.01×105Pa、出口压力低于1.33×103Pa的枯燥氛围(其露点温度低于248K)的漏率。

        1.波璃孔状管型实验室管理标准漏孔(图里a)是用要素拉细的波璃孔状管弄成的,漏率有10-8~10-7Pam3/s。 

       2.塑料压扁型标准化漏孔(图示b)凡事是用无氧铜或可伐管压抑感而成,漏率是10-8~10-6Pam3/s。 

       3.波璃铂丝型标准漏孔(该图c)是支配波璃与铂丝的不合婚封接制作成的。当铂丝网套直径为0.1~0.5mm;封接段长度为5~10mm时,漏率约为10-7Pam3/s。当温表的转变时,其漏率变更登记。若296K的漏比率有qL、296,则温表T时的漏比率有式(8)。式中f(T)的弧线如图甲已知11已知。 

       4.薄膜渗氦型规范漏孔(图中d)是操纵石英薄膜球泡的渗氦速度制成的,其漏率普通为10-5~10-9Pam3/s。因为温度对漏率的影响很大,利用时应当注重批改。若是温度T1时漏孔漏率为qL、T1,利用温度T2时的漏率应为式(9)。式中,E-氦在石英中的渗入激活能;R-摩尔气体常数。


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